在好色先生黄的APP的拋光過程中，耗材起著非常重要的作用。拋光中好色先生TV网站常用的耗材有研磨液，拋光液，拋光盤，拋光布，拋光墊等等。他們每一個的作用的是微小的但卻是不可忽略的。下麵好色先生TV网站挑一個（拋光墊）慢慢的做詳細的考察和研究，並發現他未來的發展趨勢。 好色先生黄的APP技術是半導體晶片表麵加工和多層布線層間平坦化的關鍵技術之一,近年來得到了廣泛的應用。拋光墊是CMP係統的重要組成部分,拋光墊的材料性能和結構直接影響著拋光墊的性能,進而也影響著CMP過程及加工效果。近年來,國內外學者對拋光墊材料的厚度、密度、硬度、壓縮比、回彈率、孔隙率、溝槽、表麵粗糙度以及拋光液的承載能力等對化學機械拋光過程的影響進行了研究。 拋光墊材料的基本分類 好色先生黄的APP中常用的拋光墊按是否含有磨料分為無磨料類拋光墊和有磨料類拋光墊,其中不含磨料類拋光墊主要有聚合物拋光墊、無紡布拋光墊、複合型拋光墊,含磨料類拋光墊根據其含磨料的不同而有不同的名稱、用途和性質,圖2為聚氨酯分子式。 1.1.1 聚氨酯拋光墊 聚合物拋光墊主要是指聚氨酯拋光墊,聚氨酯具有較高的抗拉強度、延展率和抗撕裂性,摩擦學性能較好,另外還由於其在化學機械拋光中優異的穩定性與在化學反應中的高電阻被用作最常用的拋光墊材料之一。在拋光過程中,聚氨酯拋光墊表麵微孔可以軟化和使拋光墊表麵粗糙化,並且能夠將磨料顆粒保持在拋光液中。化學機械拋光中使用的聚合物通常表現為磨料和粘著磨損機製,還產生明顯的脆性斷裂。 1.1.2 無紡布拋光墊 無紡布(Non Woven)又稱不織布,由定向的或隨機的纖維構成,是新一代環保材料,具有價格低廉、可循環再用等特點。無紡布拋光墊的原材料聚合物棉絮類纖維滲水性能好,容納拋光液的能力強,常用於細拋工藝中。無紡布拋光墊可分為普通無紡布拋光墊和帶絨毛結構的無紡布拋光墊。帶絨毛結構的無紡布拋光墊硬度小、壓縮比大、彈性好,常用於精拋工藝中。 1.1.3 複合型拋光墊 由好色先生黄的APP原理可知,軟質拋光墊可實現很小的加工變質層和表麵粗糙度,但難以實現高效的平坦化加工;過硬的拋光墊可以實現很高的拋光率,但非均勻性差且容易損傷材料表麵。為了兼顧平坦度和非均勻性要求,可采用“上硬下軟”的上下2層複合結構拋光墊 1.2 有磨料類拋光墊 有磨料類拋光墊,也稱固結磨料拋光墊,指利用結合劑將亞微米級或納米級的磨料均勻調製後粘結在聚合物基材上形成複合結構的拋光墊。固結磨料拋光墊分為整體式和微型塊式2種,微型塊式通常按照一定的陣型排列在基材上。 拋光墊的硬度越大,拋光速率越快,平整度越好,但硬度大的拋光墊會導致材料表麵劃痕,加工變質層等問題。拋光墊的密度、表麵粗糙度和表麵結構對拋光效率與工件表麵質量也有重要的影響。拋光墊的密度與孔隙率成反比,高密度的拋光墊的孔隙率低,孔隙率高的拋光墊運輸拋光液的能力強,高密度的拋光墊由於工件表麵沒有充足的拋光液,所以表現出低的材料去除率。表麵粗糙度對材料的去除率有著直接的影響。 5 結語 拋光墊材料是決定拋光墊性能的重要因素之一,對拋光效率和加工質量有重要的影響。拋光墊材料性能(硬度、壓縮比、彈性模量與剪切模量)對拋光效果有重要的影響,因此,在拋光墊的製備,選用及修整過程中應綜合考慮拋光墊材料及其性能的影響,從而達到優化拋光墊性能,改善拋光效果的目的。 如需更詳細的圖解，或者技術方麵還沒看明白的朋友請直接聯係好色先生TV网站。好色先生TV网站專門研發好色先生在线下载，好色先生黄的APP等。電話：0755-26527403 http://www.donglongfz.com |
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